科学研究費採択課題詳細 2008年度

LSIプロセスによりシリコン結晶に導入された結晶歪の精密分布測定に関する研究

研究課題名 LSIプロセスによりシリコン結晶に導入された結晶歪の精密分布測定に関する研究
研究種目等 特定領域研究 (公募研究)
研究概要  
研究者 所属 氏名
  理工学部 准教授 小椋厚志
補助金額(千円)
※直接経費のみ
2,600
研究期間 2008.4~2010.3
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