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科学研究費採択課題詳細　2008年度

ＬＳＩの高性能化を目的としてシリコン基板に導入された結晶歪の精密測定に関する研究

研究課題名	ＬＳＩの高性能化を目的としてシリコン基板に導入された結晶歪の精密測定に関する研究
研究種目等	特別研究員奨励費
研究概要
研究者	所属	職	氏名
	工学	ＤＣ１	小瀬村大亮
補助金額（千円） ※直接経費のみ	600
研究期間	2008.4～2011.3
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