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半導体ナノテクノロジーについて(1.ナノ材料技術 2.ナノプロセス技術 3.ナノ評価技術)に関する研究
ナノテクノロジー,LSI,太陽電池
http://oh-o.meiji.ac.jp/index.htm
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「先端デバイス開発におけるSOI基板への期待」(結晶成長学会誌・2004年) “Raman spectra of size-selected silicon clusters and comparison with calculated structures”, Nature Vol.366, pp.42-44/1993.