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環境配慮型半導体の物性に関する基礎研究とグリーンデバイス(LED,太陽電池,熱電変換素子)への応用
グリーンデバイス,受発光素子,超LSI配線技術
http://oh-o.meiji.ac.jp/index.htm
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半導体技術に関する研究活動を通じて,実社会で役立つ技術を身に付け,環境配慮型社会の実現に貢献しましょう!
“Fabrication of Heterostructure p-β-Fe0.95Mn0.05Si2/n-Si Diodes by Fe+ and Mn+ Co-implantation in Si(100) Substrates” “Properties of TaN Films for ULSIs Prepared by Reactive Sputter Deposition”