理工学研究科応用化学専攻博士前期課程1年の石沢直樹さん（無機結晶化学研究室）が9月6日～9月8日に京都工芸繊維大学松ヶ崎キャンパスで開催された日本セラミックス協会第36回秋季シンポジウムのクリスタルサイエンス特定セッションにて優秀発表賞を受賞しました。
無機結晶化学研究室では溶液反応を利用した無機結晶育成と、それらの環境・エネルギー材料応用について研究しています。中でも透明導電性薄膜材料である酸化亜鉛(ZnO)膜を低環境プロセスで成膜する技術については、長年に渡って研究を積み重ねてきました。
ZnO 成膜には高真空下かつ、高温下の気相成膜法が利用されています。一方で、近年では低消費エネルギー化を実現しうる成膜方法として、大気圧下かつ、低温下で成膜が可能な水溶液成膜法が注目されています。当研究室では、従来必要であったシード層を使用せずに ZnO を成膜可能とする、Non-Seed CBD 装置を開発し、ZnO 透明導電膜の作製に取り組んできました。これまで、Non-Seed CBD 法によって作製された ZnO 膜は、空隙が多く、導電性が低いという課題がありました。そこで、本研究は二段階濃度制御を利用した Non-Seed CBD 法による ZnO 成膜を試みました。特に、アンモニア濃度を制御することで、成膜初期における核生成密度を増大させたところ、ZnO 膜の導電性が向上しました。この研究成果が評価され、受賞に至りました。
演題 : 二段階濃度制御 Non-Seed CBD 法による ZnO 成膜とアンモニア濃度の膜構造への影響調査
発表者 : ○石沢直樹・我田元
