理工学研究科電気工学専攻 博士前期課程1年 栗島一徳君(小椋 厚志研究室)が
国際会議14th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD2014)で、"Influence of electrical properties for IGZO TFT with Al2O3 gate insulators by PE-ALD method"とのタイトルで学術論文発表を行い、Poster Awardを受賞しました。
国際会議の詳細は、以下のホームページを参照ください。