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【電気工学専攻】博士前期課程2年の女屋 崇さん(半導体ナノテクノロジー研究室、指導教員:小椋厚志教授)が、2017 IWDTFでYoung Awardを受賞しました。

2017年12月13日
明治大学 理工学部事務室

 理工学研究科電気工学専攻 博士前期課程2年の女屋 崇さん(半導体ナノテクノロジー研究室、指導教員:小椋厚志教授)が、2017 International Workshop on. Dielectric Thin Films for Future Electron Devices -Science and Technology (2017 IWDTF)でYoung Awardを受賞しました。

2017 IWDTF (http://m-sys.sakura.ne.jp/iwdtf/)は、LSIを構成するトランジスタの高性能化技術として、最も重要な要素技術の一つである薄膜誘電体膜に関する国際的に権威ある学会として1999年から、世界の著名な研究者を集めて毎年開催されています。本年は、11月20日から22日にかけて晩秋の奈良、東大寺文化センターで百数十名の参加者を得て盛大に開催されました。受賞論文のタイトルは「Improvement in Ferroelectricity of HfxZr1-xO2 Thin Films Using Double Nanocrystal ZrO2 Layers(和訳:2重ナノ結晶ZrO2層を用いたHfxZr1-xO2 薄膜の強誘電特性の改善)」です。本発表の内容は、次世代高性能・低消費電力ロジックおよびメモリーLSIへの適用が有望な新材料の探索成果について、本学の再生可能エネルギー研究クラスターが国立研究開発法人 物質材料研究機構(NIMS)との共同研究で得られた成果です。

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